經濟發展使集成電路設計對水質要求不斷提高,生產需用超純水保障性能。未來,集成電路制造商數量和產能的增加,將推動行業對超純水的需求,包括用量增長及因高精度制造而產生的純度、穩定性提升需求。
混床離子交換技術一直作為超純水制備的標準工藝,在超純水生產中應用廣泛。然而,由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學藥品(酸堿)和工業純水,并造成一定的環境問題,因此需要開發無酸堿超純水系統。

傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需求,于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的再生使用的是電能,而不再需要酸堿,因而更滿足于當今環保要求。
EDI設備是應用在反滲透系統之后,取代傳統的混床離子交換技術生產穩定的超純水。超純水系統是將反滲透水處理設備、EDI設備和拋光混床相結合制備超純水的設備。這不僅是一種制備超純水的新技術,也是一種環保、經濟、發展潛力巨大的超純水制備工藝。
EDI超純水設備可連續穩定生產優質超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設備結構設計緊湊,占地面積小,可為企業節省大量空間。與傳統方法相比,超純水設備具有許多優點,可以連續穩定地制備高質量的超純水。

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